Вакуумні насоси

Основний робочий елемент будь-якої вакуумної системи – насос. Вакуумний насос служить для створення вакууму в ємності. Вакуумні насоси в залежності від конструкції та принципу роботи поділяються на механічні, кріогенні, іонні, сорбційні.

Механічні насоси, у свою чергу, бувають об'ємні (водокільцеві або роторні) та молекулярні. У вакуумних системах різних типів застосовують різні види насосів, тому пристрій і робота конкретної системи залежить від її призначення і пов'язаного з ним вибору насоса.

Найпоширенішим видом вакуумних насосів є механічний водокільцевий та пластинчасто-роторний насоси, також широко поширені бустерні (насоси Рутса) та високовакуумні (паромасляні-дифузійні та турбомолекулярні) насоси.